Переход к содержанию страницы

Наноиндентация(англ。: Nanoindentation)

Тенденциякминиатюризацииготовыхизделийтребуеттакженаличиясоответствующихметодовопределениямеханическойнагрузочнойспособностиэтихмельчайшихэлементов。Сюдаотноситсянаноиндентация:инструментированноеиспытаниенапроникновениевнанодиапазоне。Тончайшиеслоииспытывают,кромевсегопрочего,натвердость,адгезионнуюпрочностьиизнос-总结summarum(совокупность)наноиндентации。

Многообразиенаноиндентации

Сразвитиеминновационныхтехнологийрасходматериаловнаизготовлениепостоянноснижается。Поэтойпричиненаноиндентациястановитсяпредпочтительнойтехникойдляопределениямеханическиххарактеристикматериаловнамикро——инаношкале。Испытательныесистемы——такназываемыенаноинденторы——можноиспользоватьдляпроведенияразнообразныхиспытаний:

ИзмерениетвердостиимодуляупругостипоDIN EN ISO 14577

ОбычноизмеренияпроводятсяспомощьюинденторапоБерковичусрегулированиемусилия。Возможнопроведениеоченьбыстрыхизмерений(например,нагружени10есек。, выдержка 5 сек。разгружение 4 сек.)。

Измеряемыевеличины:

  • т т е вд ост т и да а ливани h(можно пе е еводит в h .V
  • т и ердост т по о по Мартенсу HM или HMs
  • мод л л л л л лива ани eit (мод л л у уп о ост)
  • пол лз з с е ест и да а лива ани cили релакса и и
  • отношениеупругойсоставляющейдеформациикработевдавливанияn

Всего можно во во одит т более 60 вели и и。

Определение микрот т е е ед ости а а а анием

Обычноиспытанияпроводятсясосферическиминаконечникамирадиусомот5д10μом。Этопозволяетмаксимальномунапряжениюрасполагатьсяпобольшейчастивслое,аневподложке。Возможно мно о ок к с атно ое сканиро овани ие поверхности。Благодарямалойдлинецарапины,снижаютсяизноснаконечникаивлияниешероховатостиповерхности。

Измерение к ии ии напряжения/деф - о ма л и

Всотрудничествесисследовательскимцентромвг。Карлсруэбылразработанметод,позволяющийизотпечатковинденторавформешарикаопределятькомплекснуюкривуюнапряжения/деформацииметаллов。Оноснованнаиспользованиинейронныхсетейдляидентификациипараметровиучитываеттакжекинематическоеупрочнение。

Твердость по о Виккерсу

ТвердостьпоВиккерсуможнорассчитыватьизтвердостивдавливания。ПроведенноеФедеральнымведомствомпоисследованиямматериалов(BAM)наоснов20ематериаловмасштабноесравнениемеждутрадиционнойтвердостьюпоВиккерсуирассчитаннойспомощьюалгоритмовInspectorX,пересчитаннойизHтвердостипоВиккерсувыявилосреднююразницуменеечемв10%,вотличиеоту25 - 30%другихпрограммныхпакетов。

(T。Chudoba, M. Griepentrog,国际材料研究96 (2005)11 1242 - 1246]

ЗависимыеотглубиныизмеренияспомощьюмодуляQCSM

Прирегистрируемыхизмерениятвердостидляопределениятвердостивдавливания打击поDIN EN ISO 14577измеряетсякриваяусилия/глубинывдавливанияF (h)сопределенноймаксимальнойнагрузкой。Твердостьможноуказыватьтолькодлядостигнутойприэтоймаксимальнойглубины。Распределениетвердостипоглубинеможноопределитьтолькопосредствомизмеренийсразличнымиусилиямивразличныхместахобразца。Принаноиндентацииэтотспособявляетсязатратны,монсущественноувеличиваетвремянапроведениеизмеренийианализа。

ПриметодеCSMилиQCSMжесткостьрассчитываетсяужевовремянагруженияизчастногоамплитудыусилияиамплитудыперемещениямалогоколебания。

Приметоденепрерывногоизмеренияжесткости(CSM)малоеколебаниепостояннонакладываетсянастатическийсигналусилия。Соотношениеамплитудыусилияиперемещенияпосленекоторыхкорректировок,учитывающихвибрирующуюмассу、частотуикоэффициентдемпфирования,выдаетконтактнуюжесткостьмеждуиспытываемымтеломиобразцом。ПриметодеCSMстатическоеусилиевовремянагруженияприкаждомколебаниинесколькоотличается。Этоосложняетусреднениенесколькихколебанийирегулирование。

Напротив,приметодеQCSMусилиеувеличиваетсяпоэтапно,иколебаниевключаетсятольковтечениекороткоговременивыдержкипримернов0 5с- 3снакаждойступени(см。п пи н и иал н н н схему qcsm)。Благодаряэтом,уможноусреднятьнесколькоколебаний,регулированиетакжеоблегчается。Например,причастот40Гецивременивыдержки(停留时间)в1,4сизмеряется56амплитуд。ПриметодеQCSMизнихпервые20%колебанийнеучитываютсядляусреднения,чтобыснизитьвлияниеползучестинарезультат。Этоважноособенноприиспытаниивискозныхматериалов。

Наноиндентация:исследованиямикроизносасразрешениемвнанометр

Подобныеалмазууглеродныепокрытия(DLC)из——засвоейвысокойтвердости,малоготренияивысокойустойчивостиккоррозиичастонаходятприменениевпромышленности。П——порежнемусуществуютрасхождениямеждурезультатамипромышленныхиспытанийнаизносврабочихусловияхистандартныхлабораторныхиспытанийнаизнос。

,чДлятоготобыпроанализироватьипонятьпреобладающиемеханизмыизноса,необходимоисследоватьотдельныенеровностиповерхностисрадиусомконтактапримерноот0,1μмд20μомсвысокимразрешением。Практическиотсутствуюткакие——либометодуизмеренияизносавдиапазоненагружениямене1Несразрешениемвнанометрприизмеренииперемещения。

Наноиндентациявсочетаниисизмерениямипоперечногоусилия/перемещениясвысокимразрешениемтеперьпозволяетпроводитьподобныеисследования。

ДляиспытанийнамикроизносприменяетсяуниверсальнаянаномеханическаяиспытательнаясистемаZHNслатеральнойизмерительнойголовойLFU。

  • Условияиспытаний:
  • 500 циклов осциллирующего смещения
  • амплит о да 80 μм, посто о о ост
  • 6 с с а и икл→ско ост т 26、7 μм/с
  • и рем м и рени 3024 с
  • а ас стота пе еда ст а а анн н а 8 Гц

Переход к наноинденто в

Образцы, инденторы, нормал но о сили

Параметры Пленочныйматериал Толщина пленки,µм Твердость,ГПа Модуль п п п о ост т, ГПа Предел曲面曲面曲面曲面曲面曲面曲面曲面曲面曲面,ГПа КоэффициентПуассона
Образец1 a - c: H 4 14、5 120 10.9 0, 2
Образец2 a-C (в о ока дол sp .3. 5 50,0 542 30日,1 0, 2
Образец3 得了 3. 15日0 170 8、8 0, 2
Образец4 a - c: W (17%) 3. 14、5 140 9、5 0, 2
Образец5 a - c: H(структурирован) 4 12日,2 103 9日0 0, 2
  • Индентор1:алмазноепокрыти,еначальныйрадиус67μм,5значенийусилияот50мНд1000моН
  • 2:Инденторалмазноепокрыти,еначальныйрадиус6μм,7значенийусилияот5мНд200моН
  • Индентор3:твердыйсплав,начальныйрадиус100μм,4значенияусилияот100мНд1000моН
Экспериментальнаяметодика

Требовани:етермическаястабильностьизмеренияперемещениявтечение1часа。Требуемая ско ост т дре о фа < 0,001="">

Подведение итогов результатов ско о ости износа

  • Износпримедленныхколебанияхивлажностивоздухаок。50%начинаетсяупокрытийDLCвтотмомент,когдадавлениеприжимасоставляетпримерно10% - 30%пределатекучести
  • Механизмизносаменяется,когдадавлениеприжимадостигаетпределатекучести。
  • Скоростьизносаугладкихповерхностейприблизительнопропорциональнадавлениюприжима。Ростглубинызаперемещениесмещениясоставляетменее0,15н,мет。тол л ко о 0 - 2 атомн сло。Износпредставляетсобойнепрерывныйпроцессбезсокращениячастиц。
  • ИзносначинаетсяприболеенизкомнормализированномдавленииприжимадлясодержащихводородDLC。
  • Болеевысокаятвердостьприэтомтипеизносанеявляетсяпреимуществом。Приодинаковомнагруженииа(бсолютная)скоростьизносаутвердыхпокрытийпримерносоответствуетскоростиизносаумягкихпокрытий。
  • Ответныеэлементыизтвердогосплававызываютв2 5разабольшийизноспокрытий,чемалмазныенаконечники。
  • Дляисследованноговидаизносасвязьмеждускоростьюизносаитрениемотсутствует。

Отображение исп о тани на наноиндент

Характеристикисистемыпринагруженииопределяютсяпосамомуслабомузвену。Поэтомуметодыизмерений,дающиеобразцуглобальнуюхарактеристику、являютсяэффективными。Отображениемеханическихсвойствпредставляетсобойшагвнаправленииглобальнойхарактеризации。

Нижепредставленпримеризмеренияобразцаизкварцевогостекласотпечатками:

    наобразецизкварцевогостеклабылинанесеныотпечаткисразличнымиусилиямишариковыминденторомрадиусом10µм。Такойжеинденторбылиспользовандлясканированияобразца。Нарис。2показанаповерхностькварцевогостекласотпечатками,нанесеннымиприусилими800Н(слевавверху)и2пом500Н。Другиеотпечаткиприменьшихусилияхбыличистоупругими。Отпечаток,нанесенныйсусилиемм200Н,визуальнопрактическинезаметен,однакоонуказываетнапластичнуюдеформациювнескольконанометров。

    • Измеренияпроводилисьсусилиемконтактав15мН。Притакомотносительнобольшомсканирующемусилииконтактявляетсячистоупругим,идажеприоченьмалыхкоэффициентахтренияразрешенияещедостаточноприизмерениилатеральногоусилия。Зонасканированиясоответствуетразмеруизображенияоптикив97µмx 77, 5µмвнаивысшемувеличениив3350разнаэкране。Другие изм ме е е ем и и и параметры:
    • 45строк
    • Времясканированиянастроку:25сдлявысокогоразрешения
    • Частота переда а а а анн 8 Гц
    • Смещение10%(дополнительнаядлинасканированиясобеихсторонвнепредставленнойзоны,чтобыисключитьэффектызапуска/остановки)
    • Частота колебани к 40 Гц
    • Амплитуда0,1В(примерносоответствуетамплитудеперемещения5нмиамплитудеусилия0 8мН)

    Наосновеотображениянормальногоусилияможнохорошоотслеживатьпозицииотпечатков,тк。усилиепривходевотпечатокпадает,апривыходерастет。Системарегулированиянедостаточнобыстра,чтобыкомпенсироватьэтотэффект。

    Здесьтакжевиденлегкийдефектпринанесенииотпечаткасусилиемм200Н。Такаяжекартинаполучается,еслиотображатьтолькоамплитудуколебанияусилия(рис。4).

    ДляопределенияЕ——модулятребуетсянетолькожесткостьконтакта-которуюможнолегкоопределитьизизмереннойамплитудыусилияиперемещения——ноикорректнаяглубинавдавливания。Дляэтогонеобходимакорректировканулевойточки,которуюможнопровестивтомжеокнеанализа。РезультатотображенияЕ——модулякварцевогостеклапоказаннарис。5.Ожидаемоезначениев72Падостаточнохорошодостигаетсяповсейповерхностизаисключениемпозицийотпечатков。Таммодельанализанесоответствуетровнойповерхности,поэтомуполучаютсяслишкомвысокиезначения。

    Коэффициенттрениямеждуалмазнымнаконечникомикварцевымстекломрассчитываетсяизсоотношениялатеральногоусилияинормальногоусилия。Это предста а ено н н ис。7. .На отпе т атка ан он (а На ло о и и н)。3)сначалападаетвнаправленииперемещения,чтобыпотомпривыходеизуглублениясновавырасти。

    В ие лом ко ко ко ко и и иен иен и оста л л ет 0,7 - 0,8。Тольковпереднейзонеобразцавпределаходнойполосыоннесколькониже。Причина т то о о о не и с стна。
    Измерениявсехпредставленныххарактеристикпроводилисьвтечениеодногосканирования,котороебыло,однако,достаточнодлительнымп(римернос)2000。Сокращение в емени сканировани возможно。Однакоиз——заболеебыстрогоперемещениявозможноувеличениепомехприрасчетерезультатов。

    Другие област т п им менени н на аноиндента ни и

    • Разработкапокрытий:отмягких(полимеры)дотвердых(алмазоподобные)
    • Определениекритическихнапряженийдляобразованиятрещинилипластическойдеформации
    • Твердыепокрытиядляинструментовивкачествезащитыотцарапин
    • Защитные покр р т ти н на стекл нн издели
    • Лаки зол л - ел -пок ти
    • Автоматизированноеизмерениепрофильногопрохождениянапоперечныхшлифах
    • Нанопокрытия дл датчиков mems / nems
    • Биологическиематериалы
    • Матричные эффекты в спла а а а (отображение)
    • Керамические материалы Керамические материалы композиты
    • Поверхности с ионно к импланта н ие т
    • Анализ повреждений в ми икро ов лектроник

    ДлялюбогоВашегопожеланиямыищеминаходимоптимальноерешение。

    Свяжитесьснашимиотраслевымиэкспертаминапрямую。

    Мы с о о о ол л ст ием Вас п око онс л л и ием !

    Связатьсясейчас

    Подходящееоборудование

    Имя Тип Размер Загрузить
    • Отраслевая бро о л а: АкадемияPDF4МБ
    Baidu