小而有力
安装在扫描电子显微镜(SEM)中的ZHN/SEM纳米压头可以在最大分辨率观察样品的同时进行微力学实验。它拥有目前最大的测量范围，最大位移测量为200 μ m，最大力为200 mN，在低振动环境中结合非常低噪声的力和位移传感器。仪器的刚度如此之高，传统的硬度测量可以毫无困难地进行。
该标准系统是为安装在各种sem的级系统上而开发的，但也可以安装在室壁上。该系统可以使用现有的SEM工作台倾斜和定位选项。
系统包括:
- 测量头带有传感器和执行器
- 压电工作台系统，用于在XY方向上定位样品，并可选择围绕压头轴旋转
- 用于测量头朝向试样位移的刚性机械z型台
- PC机及控制器
- 易于使用，高度灵活的软件
- 带引线的一个或两个法兰(sem专用)
技术概述
| 描述 | 价值 | |
| 项目编号 | 1020054 | |
| 类型 | ZHN /扫描电镜 | |
| 测试负载，最大。(Fmax) | 约。200 | 锰1 |
| 位移,马克斯。 | 约。200 μ m, 20 mN;1500 μ m, 200 mN | |
| 力分辨率，数字 | ≤0.02 | μN |
| 位移分辨率，数字 | ≤0.001 | 纳米 |
| 噪音水平，力测量(RMS) | ≤0.5 | μN |
| 噪音水平，位移测量(RMS) | ≤0.5 | 纳米 |
| 阶段系统 | ||
| X、y级:移动范围(标准) | 21 x12 | 毫米 |
| X、y级:定位精度 | ≤50 | 纳米 |
| X级和y级:测量系统分辨率 | 1 | 纳米 |
| z级:运动范围 | 15(可选25) | 毫米 |
| z级:定位精度 | ≤0.1 | μm |
| z级:测量系统分辨率 | 50 | 纳米 |
- 压缩和拉伸
ZHN/SEM的典型应用
将纳米压头附在扫描电子显微镜上
生产适当的适配器和调整选项加上电气引线完全按照您的规格。
铜单晶压缩试验
截面为2 x 2µm的[1 0 0]铜柱的SEM图像，在(a) 3.3%压缩后(b) 13.4%压缩后(c) 23.4%压缩后(d)空载试样，晶体方向标记在活跃解理面上。©德国萨尔大学C. Motz博士
钨的断裂韧性实验
弯曲梁用立方体角压头进行原位加载。加卸载速率均为1 mm/min。所有试件均有稳定的裂纹扩展。©Wurster博士，ESI，利奥本，奥地利
确定晶体尺寸相关的塑性
试样在原位拉伸试验期间(a-e)和卸载后(f)的扫描电镜图像。应力-应变曲线中的对应位置标记在图上。第二个装载和卸载阶段由箭头表示。©Kiener博士，ESI, Leoben，奥地利
有趣的客户项目
